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Piezoactuated diamond MEMS for RF and optical applications
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2010
Book Article
Title
Piezoactuated diamond MEMS for RF and optical applications
Author(s)
Lebedev, Vadim
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Cimalla, Volker
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mainwork
Microsystems Technology in Germany 2010/Mikrosystemtechnik in Deutschland 2010
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
populärwissenschaftlich
