Zur Charakterisierung mechanischer Eigenschaften von Oberflächen und Schichten

Aus der Vielzahl der Verfahren zur Charakterisierung mechanischer Eigenschaften von Oberflächen und Schichten werden beispielhaft zwei besonders diskutiert: -Bruchmechanische Methoden, die sich für die Bestimmung von Festigkeits- und Zähigkeitseigenschaften bewährt haben, werden im Hinblick auf Aussageschärfe und Gültigkeitsgrenzen, die insbesondere aus der Art der Fehlerstellen und dem Kurzrißverhalten resultieren, analysiert und anhand von Untersuchungen an bearbeiteten Siliziumnitridoberflächen diskutiert. -Mit numerischen Methoden werden Spannungsverteilungen von Be- und Entlastungsvorgängen im Umfeld von Eindruckversuchen berechnet und zur quantitativen Interpretation des "Scratch Tests", des Ritzversuchs zur Charakterisierung des Ablöseverhaltens von Schichten, benutzt.