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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Untersuchung von amorphen Kohlenwasserstoffschichten hinsichtlich ihrer Eigenschaften und Eignung als drucksensorische Funktionsschicht auf verschiedenen Substraten
 
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2001
Diploma Thesis
Title

Untersuchung von amorphen Kohlenwasserstoffschichten hinsichtlich ihrer Eigenschaften und Eignung als drucksensorische Funktionsschicht auf verschiedenen Substraten

Thesis Note
Braunschweig/Wolfenbüttel, FH, Dipl.-Arb., 2001
Author(s)
Böschen, S.
Jacobs, A.
Publishing Place
Braunschweig
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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