Netzwerk- und Verhaltensmodellierung eines mikromechanischen Beschleunigungssensors

Am Beispiel eines Beschleunigungssensors wird ein Modellierungsansatz vorgestellt, der auf einem Netzwerkonzept beruht. Die zu modellierende Anordnung wird dabei in Grundelemente aufgeteilt, für die Verhaltensmodelle für einen Schaltungs- und Systemsimulator erstellt werden. Durch Zusammenschalten von Grundelementen können auch komplexere Anordnungen beschrieben werden. Die Ergebnisse von Simulationen des Modells mit dem Systemsimulator SABER liefern eine gute Übereinstimmung mit Simulationen mit dem FEM-Simulator ANSYS. Der Vorteil des Ansatzes besteht u. a. darin, daß systematisch Modelle für die Systemsimulation erstellt werden können.