Ausgewählte optische Verfahren zur Topographiebestimmung

Es werden einige Beispiele von Messverfahren beschrieben, die auf optischem Weg die Topografie von Oberflaechen erfassen. Die beschriebenen Rauhigkeitsmessverfahren sind Streulicht- und Speckle-Methoden sowie optische Profilometer, mit denen die Mikrotopografie der Oberflaechen entsprechend den mechanischen Abtastverfahren nachgezeichnet werden. Zur flaechenhaften Formerfassung der Oberflaechen dienen einerseits die Interferometrie und andererseits Moire-Verfahren, die jeweils in verschiedenen Anwendungsmoeglichkeiten beschrieben werden. (IPM)