2006
Journal Article
Title

High-rate deposition of MgO by reactive ac pulsed magnetron sputtering in the transition mode

Author(s)
Kupfer, H.
University of Technology, Chemnitz
Kleinhempel, R.
University of Technology, Chemnitz
Richter, F.
University of Technology, Chemnitz
Peters, C.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Krause, U.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Kopte, T.
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP  
Cheng, Y.
University of Texas at Arlington
Journal
DOI
Language
English
Keyword(s)