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Konferenzschrift
Diamant-CVD-Prozeßentwicklung
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1997
Conference Paper
Title
Diamant-CVD-Prozeßentwicklung
Author(s)
Schäfer, L.
Mainwork
Superharte Schichten für tribologische Anwendungen
Conference
MaTech-Statusseminar 1997
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
