Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile

Das vorgestellte Inspektionsmodul ist in der Lage, eine automatische Fehlererkennung und Fehlerklassifizierung durchzuführen. Dadurch ist eine Qualitätssicherung der Produkte und eine ständige Kontrolle der Fertigung realisierbar. Durch Einsatz geeigneter Schnittstellen, Magazin und Übergabe der Komponenten, kann das Inspektionsmodul sowohl als Stand-alone-Gerät betrieben, als auch in eine automatisierte Fertigung integriert werden. Das entwickelte Verfahren zur Prüfung optischer Komponenten ist auch auf andere Bereiche in der Mikrosystemtechnik übertragbar und trägt damit zur kostengünstigeren Produktion von Mikrosystemen bei.