2017
Doctoral Thesis
Title

Realisierung eines hochauflösenden EUV-Mikroskops mit einer optimierten Gasentladungsquelle zum Betrieb mit Wellenlängen um 17 nm zur Mikroskopie an M-Kanten von Elementen

Thesis Note
Aachen, TH, Diss., 2017
Author(s)
Freiberger, R.
Publishing Place
Aachen
Language
German