Akustische Mikroskopietechniken an dünnen Schichten

Akustische Mikroskopietechniken im Frequenzbereich bis 2 GHz sind geeignet vorhandene Fehlstellen in dünnen Beschichtungen und Schichtsystemen nachzuweisen. Es können geöffnete Risse und Delaminationen mit einer Rißlänge und -tiefe von etwa 1µm und einer Rißöffnung, die Größenordnungen kleiner als das Auflösungsvermögen des SAM ist, detektiert werden. Die Bildaufbauzeiten betragen nur etwa 10 Sekunden. Mit Hilfe der V(z)-Kurven kann die Schallgeschwindigkeit dicker Beschichtungen gemessen und bei bekannter Poisson-Zahl und Dichte die dazugehörigen elastischen Moduli (Elastizitätsmodul E und Schubmodul G) berechnet werden. Die V(z)-Messungen ist darüber hinaus geeignet, die Dicke dünner Schichten zu bestimmen, sowie gut und schlecht haftende Bereiche von Beschichtungen konstanter Dicke zu unterscheiden. Die Rasterakustomikroskopie stellt deshalb ein leistugsfähiges Meßverfahren dar, dünne Schichten zu charakterisieren.