Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion

Moderne Produkte enthalten zunehmend Komponenten mit funktionellen Mikro- und Nanostrukturen. Daraus resultieren erhöhte Anforderungen an die zum Einsatz kommende Mess- und Prüftechnik, da eine vollständige Bewertung dieser Komponenten auf kleinster Messskala unverhältnismäßig zeitaufwendig ist. Im Rahmen dieses Artikels wird eine neuartige automatische, multiskalige Mess- und Prüfstrategie vorgestellt, die adaptiv verschiedene Messgeräte auf verschiedenen Skalen zum Einsatz bringt und somit die Mess- und Prüfzeit deutlich reduziert. Die Leistungsfähigkeit dieses Ansatz wird anhand eine Demonstrators nachgewiesen, mit dem zwei unterschiedliche Komponenten aus den Bereichen MEMS und DOE geprüft wurden.