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Konferenzschrift
Piezoelectrically actuated AlN and Nanodiamond microstructures
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2009
Conference Paper
Title
Piezoelectrically actuated AlN and Nanodiamond microstructures
Author(s)
Knöbber, F.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Sillero, E.
Röhlig, C.-C.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Williams, O.A.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Kirste, Lutz
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Cimalla, Volker
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Nebel, C.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Calle, F.
Lebedev, Vadim
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mainwork
18th European Heterostructure Technology Workshop, HETECH 2009. Book of Abstracts
Conference
European Heterostructure Technology Workshop (HETECH) 2009
Language
English
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
