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Konferenzschrift
Anwendungen der Röntgenmikroskopie in der Mikroelektronik und Energietechnik
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2015
Conference Paper
Title
Anwendungen der Röntgenmikroskopie in der Mikroelektronik und Energietechnik
Other Title
Application of x-ray microscopy in microelectronics and energy technology
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Author(s)
Zschech, Ehrenfried
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Gluch, Jürgen
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Niese, Sven
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Lewandowska, Anna
Dresden Center for Nanoanalysis
Wolf, Jürgen M.
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
Röntzsch, Lars
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
Löffler, Markus
Dresden Center for Nanoanalysis
Mainwork
Fortschritte in der Metallographie
Conference
Metallographie-Tagung 2015
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM