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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Anwendungen der Röntgenmikroskopie in der Mikroelektronik und Energietechnik
 
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2015
Conference Paper
Title

Anwendungen der Röntgenmikroskopie in der Mikroelektronik und Energietechnik

Other Title
Application of x-ray microscopy in microelectronics and energy technology
Author(s)
Zschech, Ehrenfried
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS  
Gluch, Jürgen
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS  
Niese, Sven
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS  
Lewandowska, Anna
Dresden Center for Nanoanalysis
Wolf, Jürgen M.
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
Röntzsch, Lars  
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM  
Löffler, Markus
Dresden Center for Nanoanalysis
Mainwork
Fortschritte in der Metallographie  
Conference
Metallographie-Tagung 2015  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM  
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS  
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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