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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption
 
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2021
Conference Paper
Title

Laserdirektschreiben metallischer Nanostrukturen aus der Gasphase mittels Zwei-Photonen-Absorption

Abstract
Es wird ein neuer Ansatz für die Erzeugung dreidimensionaler Metall-Nanostrukturen vorgestellt, der auf der Zwei-Photonen-Absorption von fs-Laserstrahlung an Silber-Präkursormolekülen in der Gasphase beruht. Zweidimensionale Silberstrukturen mit Abmessungen im Submikrometerbereich wurden erfolgreich aus der Gasphase auf Glassubstraten abgeschieden. Zukünftige Untersuchungen zielen darauf ab, das Verfahren in die dritte Dimension zu erweitern.
Author(s)
Schwarz, Nicolai
Klotzbücher, Thomas  
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2021  
Project(s)
LAMETA
Funder
Bundesministerium für Bildung und Forschung BMBF (Deutschland)  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2021  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikrotechnik und Mikrosysteme IMM  
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