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Konferenzschrift
LoC Integrationsstrategien für aufgerollte Sensoren
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2012
Conference Paper
Title
LoC Integrationsstrategien für aufgerollte Sensoren
Author(s)
Harazim, S.
Helke, Christian
Enderlein, Tom
Morschhauser, Andreas
Nestler, J.
Sanchez, S.
Grimm, D.
Otto, Thomas
Schmidt, O.
Geßner, Thomas
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz 2012. Mikromechanik & Mikroelektronik
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 2012
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS