PECVD mit der Bandhohlkathode

Niederdruck‐Glimmentladungen sind für die Entwicklung neuartiger Oberflächenmodifikationen und ‐beschichtungen von Stahlfeinblechen von großem Interesse. Die Herausforderungen bei der Integration der Plasmaprozesse in vorhandene kontinuierliche Beschichtungsprozesse von Feinblech bestehen in der Notwendigkeit von sehr hohen Behandlungsraten und minimalen parasitären Ablagerungen. Unter Berücksichtigung dieser Anforderungen wurde auf Basis einer scheibenförmigen Hohlkathode, die von den Substraten selbst gebildet wird, ein neuartiges Bandhohlkathodenverfahren (Strip Hollow Cathode - SHC) für die Oberflächenbehandlung entwickelt. Dieses Verfahren hat hohes Potenzial für die kontinuierliche Behandlung von Stahlband, was anhand unterschiedlicher Anwendungsbereiche aufgezeigt wird.

Low pressure glow discharges are of strong interest for the development of new technologies for steel strip surface treatment for different applications. The challenge of the integration of plasma processes into existing continuous steel sheet coating processes consists in the requirements of a very high deposition rate combined with minimal loss due to parasitic coatings. Regarding these requirements a novel strip hollow cathode process (SHC) for surface treatment based on the hollow cathode effect between two flat and parallel cathodes has been developed. This method has significant potential for surface treatment of large area metal strips in continuous technological processes.