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Konferenzschrift
Plasma-Emissions-Monitorierung beim reaktiven DC-Magnetron-Sputtern
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1991
Conference Paper
Title
Plasma-Emissions-Monitorierung beim reaktiven DC-Magnetron-Sputtern
Author(s)
Schiller, S.
Heisig, U.
Strümpfel, J.
Mainwork
Deutsche Tagung Plasmatechnologie 1991
Conference
Deutsche Tagung Plasmatechnologie 1991
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
