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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. FEM-Analyse des Zeitverhaltens einer thermosensitiven Mikrostruktur - Thermopile
 
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1994
Conference Paper
Titel

FEM-Analyse des Zeitverhaltens einer thermosensitiven Mikrostruktur - Thermopile

Abstract
Zur Charakterisierung von Thermopiles, einer Reihenschaltung vieler Thermoelemente, dienen neben statischen Kenngrößen wie Empfindlichkeit und Detektivität auch deren transiente Eigenschaften. Mit dem Programm ANSYS werden die Zeitkonstanten verschiedener, in CMOS-kompatibler Technologie gefertigter Thermopilestrukturen bestimmt und mit Messungen verglichen. Darüber hinaus wird der Einfluß einer auf dem Sensorchip integrierten, das Mikrosystem vervollständigenden, elektronischen Auswerteschaltung auf das ursprüngliche Sensorsignal simuliert. Neben der stationären Veränderung des Meßsignals ist auch hier das zeitliche Verhalten von besonderem Interesse. Den berechneten Resultaten werden Meßergebnisse gegenübergestellt.
Author(s)
Kunze, D.
Müller, M.
Hübel, A.
Hauptwerk
12. CAD-FEM Users' Meeting '94. Proceedings
Konferenz
CAD-FEM Users' Meeting 1994
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Language
German
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IMS2
Tags
  • Beleuchtung

  • elektronische Schaltu...

  • Finite-Elemente-Metho...

  • Sprungantwort

  • Temperaturverteilung

  • Thermoelement

  • Wärmequelle

  • Zeitkonstante

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