Einfluss der Anodisierbedingungen auf die Morphologie - eine Parameterstudie

Der Einfluss der Parametervariation beim Anodisieren auf die Morphologieentwicklung der Oxidschichten wurde untersucht. Wichtige Parameter wie die Badtemperatur und die Haltezeit wurden variiert. Es zeigte sich, dass Schichtdicke und Porendurchmesser sehr stark auf Parameteränderungen reagieren. Um das gewünschte Oxiddesign einzustellen, existiert nur ein kleines Prozessfenster. Eine Erhöhung der Badtemperatur verschärft die Situation und verringert das zulässige Prozessfenster.