1995
Journal Article
Titel

Trajectory split method for Monte-Carlo simulation of ion implantation
Author(s)
Bohmayr, W.
Burenkov, A.
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen IIS
Lorenz, J.
Ryssel, H.
Selberherr, S.
Zeitschrift
Thumbnail Image
DOI
Language
English