1984
Journal Article
Titel

Investigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon films by electron-energy-loss spectroscopy
Alternative
Untersuchung von aus Kohlen-Wasserstoff-Plasmen abgeschiedenen Kohlenstoff-Schichten durch Elektronen-Energie-Verlust-Spektroskopie
Author(s)
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Fink, J.
Scheerer, B.
Bubenzer, A.
Dischler, B.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mueller-Heinzerling, T.
Pflueger, T.
Zeitschrift
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DOI
Language
English
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