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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Investigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon films by electron-energy-loss spectroscopy
 
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1984
Journal Article
Titel

Investigation of hydrocarbon-plasma-generated carbon films by electron-energy-loss spectroscopy

Alternative
Untersuchung von aus Kohlen-Wasserstoff-Plasmen abgeschiedenen Kohlenstoff-Schichten durch Elektronen-Energie-Verlust-Spektroskopie
Author(s)
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Fink, J.
Scheerer, B.
Bubenzer, A.
Dischler, B.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mueller-Heinzerling, T.
Pflueger, T.
Zeitschrift
Physical Review. B
Thumbnail Image
DOI
10.1103/PhysRevB.30.4713
Language
English
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Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Tags
  • amorpher Kohlenstoff

  • Spektroskopie

  • Struktur

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