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Konferenzschrift
Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
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2018
Conference Paper
Titel
Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
Author(s)
Bartzsch, Hagen
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Barth, Stephan
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Glöß, Daniel
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Frach, Peter
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Suchaneck, Gunnar
Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik, 01062 Dresden, Deutschland
Gerlach, Gerald
Technische Universität Dresden, Institut für Festkörperelektronik, 01062 Dresden, Deutschland
Hauptwerk
13. ThGOT Thementage Grenz- und Oberflächentechnik und 11. Biomaterial-Kolloquium 2018. Tagungsband
Konferenz
Thementage Grenz- und Oberflächentechnik (ThGOT) 2018
Biomaterial-Kolloquium 2018
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Tags
Sensorik
Schichtabscheidung
