Ein resonanter 24 kHz Scanner für hoch auflösende Laserdisplays

Entwurf, Herstellung und Test eines mikromechanischen Scanners zur Horizontalablenkung für Laserdisplay werden in diesem Beitrag vorgestellt. Der elektrostatische Antrieb ist bei diesem Scanner von der Reflektorplatte getrennt. Dadurch bildet sich ein mechanischer Resonator mit zwei rotatorischen Freiheitsgraden mit gleichen Drehachsen. Die bei geeigneter Dimensionierung auftretende Amplitudenverstärkung beträgt in diesem Fall 50fach und wird genutzt, um eine relativ dicke und mechanisch stabile Reflektorplatte bei hohen Frequenzen um große Winkel auszulenken. Mit 380V Ansteuerspannung wird bei 24 kHz ±5,5° mechanische Auslenkung erreicht.