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Mechanische Charakterisierung und Qualitätssicherung an dünnen PVD- und CVD-Schichten II
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1995
Journal Article
Title
Mechanische Charakterisierung und Qualitätssicherung an dünnen PVD- und CVD-Schichten II
Author(s)
Taube, K.
Journal
JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
