2003
Journal Article
Title

Large-field particle beam optics for projection and proximity printing and for maskless lithography

Author(s)
Löschner, H.
Stengl, G.
Buschbeck, H.
Chalupka, A.
Lammer, G.
Platzgummer, E.
Vonach, H.
Jager, P.W.H. de
Käsmaier, R.
Ehrmann, A.
Hirscher, S.
Wolter, A.
Dietzel, A.
Berger, R.
Grimm, H.
Terris, B.D.
Brünger, W.H.
Gross, G.
Fortagne, O.
Adam, D.
Böhm, M.
Eichhorn, H.
Springer, R.
Butschke, J.
Letzkus, F.
Ruchhöft, P.
Wolfe, J.C.
Journal
DOI
Language
English