Endbearbeitung von Mikrofräsern mittels Ionenstrahltechniken

Um die Anwendungsmöglichkeiten von Mikrowerkzeugen zu erweitern, wurde untersucht, ob sich die Oberflächenqualität von Mikro fräsern durch eine Ionenstrahlbehandlung verbessern lässt. Dazu wurden zunächst die Abtragraten verschiedener Ionenätzverfahren bestimmt und miteinander verglichen. Mit einer speziell konzipierten Vakuum anlage wurden Mikrowerkzeuge mit Hilfe einer Kaltkathoden-Ionenquelle nachbehandelt. Die Werkzeugoberflächen wurden vor und nach der Ionenbestrahlung mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) unter sucht. Nach der Ionenbestrahlung konnte eine deutliche Ober flächenglättung und ein Selbstschärf-Effekt der Mikrofräser festgestellt werden.

In order to increase the application capability of micro milling tolls, investigations were carried out to increase the surface quality of such tools. As first step, the ablation rates of various ion milling techniques were compared. Inside a special designed vacuum apparatus, the surface of micro milling tools were ion etched with a cold cathode ion source. The surface of the tools was observed before and after ion milling by Scanning Electron Microscopy. A significant smoothing of the surface and a self-sharpening of the tools was observed.