1995
Conference Paper
Title

Röntgendiffraktometrische Analyse von mechanischen Spannungen zur Bewertung von Materialien und Technologien im Fertigungsprozeß der Mikroelektronik

Other Title
X-ray diffraction analysis of residual stress for the evaluation of materials and technologies in the manufacturing process of microelectronics
Author(s)
Kämpfe, B.
Opper, D.
Krause, F.
Mainwork
Conference
Language
German