Optische Inspektion komplexer Strukturen auf Basis physikalisch interpretierbarer neuronaler Netze

Die detaillierte Analyse der Oberflächenstruktur vor und nach der Bearbeitung ist die wesentliche Vorausset zung für die gezielte Optimierung von Laserbearbeitungsprozessen, wie beispielweise der direkten Laserstruk turierung. Im Vortrag werden Ansätze zur inlinefähigen Strukturanalyse auf Basis physikalisch interpretierbarer
neuronaler Netze diskutiert.