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  4. Designoptimierung und Charakterisierung eines mittels Elektronenstrahldirektschreibens hergestellten Siliziumstempels zur Fertigung von plasmonisch aktiven Nanostrukturen
 
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2014
Diploma Thesis
Title

Designoptimierung und Charakterisierung eines mittels Elektronenstrahldirektschreibens hergestellten Siliziumstempels zur Fertigung von plasmonisch aktiven Nanostrukturen

Thesis Note
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2014
Author(s)
Kaiser, Michael  
Advisor(s)
Hohle, Christoph  
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
Fischer, Wolf-Joachim  
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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