1998
Doctoral Thesis
Title

Hohlkathoden-GasfluƟsputtern zur VerschleiƟschutzbeschichtung von Kunststoffen

Abstract
Das Hohlkathoden-GasfluƟsputtern ist ein neuartiger, kostengĆ¼nstiger SputterprozeƟ, der am Fraunhofer-Institut fĆ¼r Schicht- und OberflƤchentechnik entwickelt wurde. Die Arbeit vermittelt ein tieferes VerstƤndnis dieses Prozesses. So werden SubstraterwƤrmungsmechanismen, Schichtwachstumsbedingungen, Schichteigenschaften und Beschichtungskosten analysiert und mit etablierten Beschichtungsverfahren verglichen. FĆ¼r den VerschleiƟschutz von Kunststoffen wurde ein ProzeƟ zur Abscheidung von titanhaltigen Kohlenwasserstoffschichten entwickelt, optimiert und erfolgreich eingesetzt.
Thesis Note
Zugl.: Braunschweig, TU, Diss., 1998
Author(s)
KƤlber, T.
Publisher
Publishing Place
Stuttgart
Language
German
Keyword(s)