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Fraunhofer-Gesellschaft
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2015
Conference Paper
Title

Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur Brandfrüherkennung

Author(s)
Wald, C.
Richter, M.
Mainwork
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM  
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2015  
Language
German
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT  
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