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Konferenzschrift
Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur Brandfrüherkennung
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2015
Conference Paper
Title
Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur Brandfrüherkennung
Author(s)
Wald, C.
Richter, M.
Mainwork
MEMS, Mikroelemente, Systeme. Proceedings CD-ROM
Conference
MikroSystemTechnik Kongress 2015
Language
German
Fraunhofer-Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien EMFT