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Konferenzschrift
Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau
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2018
Conference Paper
Title
Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau
Author(s)
Dittrich, C.
Forke, Roman
Hiller, Karla
Kreutziger, P.
Kuerschner, R.
Meinecke, Christoph Robert
Reuter, Danny
Weidlich, Sebastian
Streit, Petra
Hahn, Susann
Mainwork
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018
Conference
Fachtagung Mikrosystemtechnik 2018
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS