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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau
 
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2018
Conference Paper
Title

Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau

Author(s)
Dittrich, C.
Forke, Roman  
Hiller, Karla  
Kreutziger, P.
Kuerschner, R.
Meinecke, Christoph Robert
Reuter, Danny  
Weidlich, Sebastian
Streit, Petra
Hahn, Susann
Mainwork
14. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik 2018  
Conference
Fachtagung Mikrosystemtechnik 2018  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
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