Analyse und Minimierung von systematischen Messfehlern beim Einsatz von CGHs zur Asphärenprüfung

Untersucht wurde der Aspekt der Automatisierung einer interferometrischen Formprüfung von asphärischen Optiken sowie die Verbesserung und Optimierung des Verfahrens selbst, um es beispielsweise robuster gegenüber dem Einsatz in einer Fertigungsumgebung zu gestalten. Für Fehleruntersuchungen eines interferometrischen Messsystems mit integriertem Computer generierten Hologramm (CGH) wurde dieses in einer Simulationsumgebung nachgestellt und systematische als auch statistische Fehler analysiert. Hierbei wird auch bei geringen Dejustagen des Messsystems gegenüber der Asphäre eine hohe Korrelation der Dejustage mit einem erhöhten Koma-Wert in der Zerike-Dekomposition festgestellt. Experimentell ist dies für eine automatische Messroutine als auch für einen erfahrenen Anwender kaum zu kompensieren. Daher wird im Anschluss an eine weitestgehend optimierte automatische Justage eine simulationsgestützte Korrektur der gemessenen Topographie vorgestellt und somit der Restfehler minimiert.