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Piezoaktoren beschleunigen die Mikrostrukturierung
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2014
Journal Article
Title
Piezoaktoren beschleunigen die Mikrostrukturierung
Author(s)
Arnold, Steffen
Neumann, Frank
Reiff, Ellen-Christine
Journal
Meditronic-journal
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Language
German
ICT-IMM
Keyword(s)
Piezoaktoren
Mikrostrukturierung
Vibrationsbohrspindel