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SIMOX-Technologie für monolithisch integrierbare Beschleunigungssensoren
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1997
Book Article
Title
SIMOX-Technologie für monolithisch integrierbare Beschleunigungssensoren
Author(s)
Köhler, R.
Kück, H.
Sölla, F.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Jahresbericht 1996
Language
German
IMS2
