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2011
Conference Paper
Title
Messtechniken zur Charakterisierung von Reinräumen
Abstract
Der Nachweis spezifischer Qualitäten reiner Fertigungsbereiche muss entsprechend gültiger Regelwerke und Anforderungen erbracht werden. Neben der Bestimmung der Luftreinheitsklasse nach ISO 14644-1 sind weitere Untersuchungen notwendig. Beispielweise die Bestimmung der Druckdifferenz zur Umgebung, die Strömungsgeschwindigkeit, Strömungsform, Filterlecktest, etc. In der VDI 2083 Blatt 3 werden verschiedene Untersuchen dazu beschrieben.