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2000
Doctoral Thesis
Title
Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten
Abstract
Es wird ein neues Verfahren zum reaktiven Sputtern von transparenten und leitfähigen (TCO) Schichtsystemen vorgestellt.
Thesis Note
Zugl.: Gießen, Univ., Diss., 1999