Prozesskette zur Waferbearbeitung

Leistungsfähige elektrische Geräte bestimmen immer stärker unseren Alltag. Diese basieren auf Halbleiterchips, deren Bedarf zunehmend steigt. Um diesen Bedarf preiswert und effektiv zu befriedigen ist eine Optimierung der bestehenden Prozesskette zur Herstellung von Siliziumwafern erforderlich: Zukünftig sollen Wafer schneller und ressourcenschonend auf mechanischem Weg gefertigt werden. Noch aber zeichnet sich die bestehende Waferherstellung durch hohen Chemieeinsatz und Langsamkeit aus.