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1988
Journal Article
Title
TUEV fuer Reinraeume. Pruefzentrum im IPA untersucht Reinraumtauglichkeit
Abstract
Die hohen Anforderungen an reinraumtaugliche Prozeßgeräte und -peripherie machen eines unumgänglich: Über den "Reinheitsgrad" der Komponenten müssen zuverlässige und gesicherte Daten vorliegen. Das neu eröffnete Prüfzentrum im IPA kann dem Anwender hierbei wertvolle Hilfestellung geben. (IPA)