Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen

Die strömungstechnische Auslegung von Reinen Räumen dient insbesondere dazu, das mit unerwünschten Partikeltransportvorgängen verbundene Auftreten von Quer- und Rückströmungen zu vermeiden. In Reinen Räumen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung versucht man aus diesem Grund, durch entsprechende bauliche Maßnahmen eine möglichst hohe Stabilität der Verdrängungströmung zu erreichen. Im nachfolgenden werden die Auswirkungen unterschiedlicher Strömungsverhältnisse im Reinraum auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von potentiellen Partikelquellen einander gegenübergestellt. Aus den gewonnenen Ergebnissen resultiert die Beurteilung der jeweiligen Strömungsbedingungen.