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Abschlussarbeit
Tiegelfreie Elektronenstrahlverdampfung von Silizium für Elektronenstrahlkristallisationsversuche
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2015
Doctoral Thesis
Title
Tiegelfreie Elektronenstrahlverdampfung von Silizium für Elektronenstrahlkristallisationsversuche
Thesis Note
Dresden, TU, Diss., 2015
Author(s)
Saager, S.
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP