2005
Conference Paper
Title

Heuristische Simulation der Plasma-Impedanz beim reaktiven Magnetron-Sputtern

Author(s)
Pflug, A.
Siemers, M.
Szyszka, B.
Kappertz, O.
Nyberg, T.
Berg, S.
Severin, D.
Wuttig, M.
Mainwork
Conference
Language
German