Aktiv-Matrix-Ansteuerungen für Projektions-Displays

Die großformatige Fernsehbildwiedergabe erfolgt vornehmlich mit Projektionssystemen basierend auf Kathodenstrahlröhren (CRT) oder Transmissions-Flüssigkristallzellen (LCD). Das Potential beider Systeme bezüglich der Bildhelligkeit ist nahezu ausgeschöpft. Diese Einschränkung trifft nicht auf reflektiv betriebene Beugungs-Lichtventile zu. Die vorliegende Arbeit konzentriert sich daher auf die Entwicklung neuartiger CMOS Ansteuermatrizen mit zweidimensional deformierbaren Spiegelschichten. Als Ansteuermatrix wird ein CMOS-Chip verwendet, das auf seiner Oberfläche eine verspiegelte Elastomerschicht trägt, die gezielt durch elektrische Feldkräfte bildpunktweise deformiert werden kann. Das phasenmodulierte Licht gelangt dann über eine Schlieren-Optik zur Projektion. Die technologische Basis der Ansteuermatrizen muß hinsichtlich der Spannungsfestigkeit und Oberflächenplanarität optimiert werden. Die Integration der Adressierungselektronik erfordert eine schnelle, zuverlässige Schaltungstechn ik, wofür neue Lösungen vorgestellt werden. Die Speicherzellen werden wirkungsvoll gegen das helle Projektionslicht geschützt, so daß eine erfolgreiche Projektion gelingt.