2012
Conference Paper
Title

Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren

Author(s)
Haas, S.
Schramm, M.
Heinz, S.
Loebel, K.-U.
Reuter, Danny  
Bertz, Andreas  
Geßner, Thomas  
Horstmann, J.T.
Mainwork
Conference
Language
German