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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
 
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1991
Journal Article
Title

Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen

Abstract
Im Vergleich zu anderen Fertigungs-Branchen weist die Automatisierung in der Chip-Produktion heute immer noch ein hohes Entwicklungspotential auf. Immer kürzere Innovationszyklen hemmen eher die Automatisierungsaktivitäten im Reinraum. Das größte Problem liegt dabei in der Kommunikation einer Vielzahl unterschiedlicher Fertigungsgeräte, die momentan auf dem Markt angeboten werden. Forschungsinstitute suchen nach neuen und standardisierten Lösungsansätzen.
Author(s)
Schäfer, W.
Wohnhas, S.
Journal
Elektronik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Automatisierung

  • chip

  • cleanroom

  • Fertigung

  • Halbleiterbauelement

  • Reinraum

  • semiconductor

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