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Übersicht zur Mikrosystemtechnik: Definition, Technologien, Markt und Probleme in 2001
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2001
Journal Article
Title
Übersicht zur Mikrosystemtechnik: Definition, Technologien, Markt und Probleme in 2001
Author(s)
Wiemer, M.
Otto, T.
Gessner, T.
Journal
VTE
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM