Schaltungen und Verfahren für die Sensorsignalverarbeitung in CMOS-Technologie

Der zunehmende Einsatz von Sensoren erfordert die Entwicklung geeigneter analoger Signalverarbeitungsschaltungen. Diese sollten möglichst kostengünstig in CMOS-Technologie hergestellt werden können. In der vorliegenden Arbeit wird zunächst der Operationsverstärker bei der Anwendung in Signalverarbeitungsschaltungen untersucht. Drei Beispiele sollen den effektiven Einsatz von speziell angepaßten Ausleseschaltungen zeigen. Zuerst wird eine Mehrkanalausleseelektronik für den Einsatz in der Hochenergiephysik vorgestellt. Die Schaltung arbeitet bei tiefen Temperaturen und kann in so unmittelbarer Nähe der gekühlten Detektorzellen eingesetzt werden. Der zunehmende Wunsch nach gemeinsamer Integration von Sensoren und Elektronik führt zur Entwicklung einer Ausleseschaltung für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik. In einem dritten Beispiel wird gezeigt, daß mit einem auf den Sensortyp abgestimmten Ausleseverfahren die Langzeitstabilität von Gassensoren verbessert werden kann.