Analytik für die Prozesstechnik

Die Veränderungen des technischen Umfeldes führen zu einer höheren Komplexität der Fertigungsprozesse. Ein eindrucksvolles Beispiel liefert die Elektronik. Sie wird beherrscht vom Trend zur Miniaturisierung, d.h. von der Optimierung des Quotienten aus Funktionseinheiten und Flächeneinheiten. Diese Miniaturisierung betrifft alle für die Elektronik relevanten Fertigungstechnologien und damit natürlich auch die Galvanotechnik. Für den Bereich der Mikroelektronik bedeutet dies, die Galvanik muss sich von hohen Quantitäten an Chemiedurchsatz zu hohen Qualitäten bezüglich der Produkte und Prozesse, sprich hoher Präzision, weiterentwickeln. Präzision bedeutet aber Genauigkeit und Sorgfalt. In den folgenden Beispielen wird aufgezeigt, wie die Anforderungen aus den Anwendungen der Mikroelektronik den Weg zur Präzisionsgalvanik vorgeben und nachhaltig die Methoden zum Beispiel der Prozessführung und damit der Analytik beeinflussen.