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Konferenzschrift
FEM-Anwendungen auf mechanisch-thermische Probleme in der Mikrotechnik
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1995
Conference Paper
Title
FEM-Anwendungen auf mechanisch-thermische Probleme in der Mikrotechnik
Other Title
Applications of FEM to mechanical-thermal problems in the field of microtechnology
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Author(s)
Auersperg, J.
Kaulfersch, E.
Dudek, R.
Michel, B.
Mainwork
Micro Materials, Micro Mat 1995. Proceedings
Conference
Conference Micro Materials (Micro Mat) 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM