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Konferenzschrift
AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate
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2011
Conference Paper
Title
AlN-basierte mikroelektromechanische Strukturen für Implantate
Other Title
AlN-based microelectromechanical Structures for Implants
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Author(s)
Heidrich, N.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Knöbber, F.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Hampl, S.
Pletschen, Wilfried
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Cimalla, Volker
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Lebedev, Vadim
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Ambacher, Oliver
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Mainwork
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Conference
Konferenz "Systems Integration - Mikrosystemtechnik-Lösungen im Gebäude der Zukunft" 2011
MikroSystemTechnik Kongress 2011
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
